기술 소개에 SiH4공정 기술
산업용 실리콘 가스화
Si 3SiCl42H2→ 4SiHCl3
2SiCl42H2Si HCl → 3SiHCl3
트리클로로 실란 불균형
4SiHCl3→ 3SiCl4SiH4
반응 정류에 기초한 초기능성 반응기 경로
전환율: 0.2% (XEq) → 거의 100%
재료주기: 거의 90% 감소
장비 투자: 20% 이상 감소
운영 비용: 30% 이상 감소
제품의 순도는 6N(99.9999%) 이상입니다.
